空氣制冷卡盤系統-探針臺chiller

空氣制冷卡盤系統是一種以壓縮空氣為制冷介質的精密溫控設備，主要用于半導體、電子等行業的晶圓或器件測試環節，實現對被測工件的穩定夾持與準確溫度控制。無錫冠亞恒溫作為專業工業溫控設備廠家，其GY-CP系列空氣制冷卡盤系統采用純空氣制冷技術，不使用液體冷媒或帕爾貼元件，具備高可靠性與穩定性。

空氣制冷卡盤系統工作原理

系統通過專用冷卻機對壓縮空氣進行溫度調節，經密閉通道輸送至卡盤內部，實現對卡盤平板的均勻冷卻與加熱。配合分布式溫度傳感器與PID+PLC復合控制算法，可準確控制溫度波動在±0.5℃以內，滿足精密測試需求。

空氣制冷卡盤系統主要特點與規格

· 純空氣制冷，無液體泄漏風險，維護簡便

· 溫度范圍覆蓋-65℃至+200℃，支持定制化溫度區間

· 適配8英寸、12英寸等多種晶圓尺寸，提供非標定制

· 低噪音運行，適合低噪音測試環境需求

空氣制冷卡盤系統典型應用場景

廣泛應用于半導體晶圓變溫電學測試、功率器件建模、可靠性評估、射頻變溫測試等領域，為晶圓級測試提供穩定可靠的溫控平臺。無錫冠亞恒溫憑借多年工業溫控經驗，可為客戶提供從設備選型到售后維護的全流程服務，助力提升測試效率與數據準確性。