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| 檢測技術 | 在線式透射X射線衍射成像 | 晶圓尺寸 | 兼容 100mm 至 300mm（可選配支持更小尺寸） |
|---|---|---|---|
| 檢測模式 | 高速普查模式、高清復檢模式 | 檢測缺陷類型 | 位錯、層錯、滑移、微裂紋、夾雜物等 |
| 定制功能 | 全自動晶圓傳送、對光、檢測、分類、報告生成 | 軟件分析 | AI自動缺陷識別與分類，支持KLARF等多種報告格式 |
| 產線接口 | 支持MSE/SECS/GEM標準，可定制化集成 |
X射線衍射成像技術與美系日系國際競品相比，芯基石 XRT實現了核心部件的自主可控。這不僅意味著實惠的價格，大幅降低了企業的導入成本，更意味著交付周期縮短至 3-6 個月，且不受國際供應鏈波動影響。
該設備利用高精度X射線技術，無損透視材料內部晶格結構，可離線/全自動測量單晶硅/碳化硅/氮化鎵等多種材質裸晶圓內部缺陷，可以檢查內部微裂紋/位錯/夾雜物/微管/沉淀物/滑移/堆垛層錯/表面劃痕/亞晶粒等缺陷，并自帶算法，可以提供非標定制服務。
為何XRT是無損檢測的優選？
檢測方法 | 優點 | 缺點 |
染色法 | 成本低 | 破壞性檢測，無法檢測內部封閉缺陷 |
紅外熱成像 | 非接觸 | 靈敏度低，易漏檢 |
超聲波檢測 | 可檢測內部缺陷 | 不夠直觀，對微米級裂紋檢測能力有限 |
XRT檢測 | 無損、快速、精準、可視化 | 設備成本相對較高 |
國產替代新勢力
離線在線優勢對比
X射線衍射成像技術設備簡介：
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